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Sistema di scorrimento a doppio corpo del forno PECVD e scatola di guanti di circolazione OTF-1200X-PESDFG-50
Sistema di scorrimento a doppio corpo del forno PECVD e scatola di guanti di circolazione OTF-1200X-PESDFG-50
Dettagli del prodotto
OTF-1200X-PESDFG-50 è un sistema PECVD scorrevole a doppia fornace collegato ad una scatola di guanti circolante. In questo dispositivo, il tubo del forno al quarzo è collegato a un contenitore di guanti di circolazione, consentendo ai clienti di trasferire direttamente il campione nel contenitore di guanti sotto protezione atmosferica dopo che il campione è fatto con il metodo CVD. Il corpo del forno adotta un tipo scorrevole, che può rapidamente riscaldare e raffreddare il campione durante le prove di laboratorio. Questo strumento è particolarmente adatto per l'esplorazione e la ricerca di nanomateriali di nuova generazione e materiali di cristallo bidimensionali.
| Parametro tecnico | ||
|---|---|---|
| Struttura del forno(Clicca sull'immagine per visualizzare informazioni dettagliate) |
Due corpi del forno sono posizionati su una rotaia scorrevole e l'effetto di riscaldamento e raffreddamento rapidi del campione è ottenuto facendo scorrere i corpi del forno Temperatura di funzionamento continua: 1100 ℃ Entrambi i forni possono essere dotati di 30 programmi di aumento e caduta della temperatura |
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| Alimentazione RF al plasma |
● Frequenza di uscita: 13,56 MHz ±0,005 Potenza RF massima: 500W ● Abbinamento: Abbinamento automatico ● Rumore:< 50 dB. ● Raffreddamento: Raffreddamento ad aria ● Alimentazione in ingresso: 208-240VAC, monofase, 50/60Hz |
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| sistema di vuoto |
● Adottando la doppia pompa per vuoto rotativa VRD-16, con un vuoto massimo di 10E-3 Torr KFD55 collegamento rapido, tubo ondulato dell'acciaio inossidabile, valvola a deflettore manuale e flangia, collegato alla pompa del vuoto Il vuoto all'interno del tubo può raggiungere 10E-2 Torr |
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| Sistema di miscelazione del misuratore di portata massica |
Quattro misuratori di portata massica di precisione (precisione 1,5%): display digitale, controllo automatico ● Gamma MFC1: 0~100 sccm MFC2 e 3: 0~200 sccm Gamma MFC4: 0~500 sccm Serbatoio di miscelazione del gas con uscita del liquido di scarico nella parte inferiore Quattro valvole ad ago in acciaio inossidabile sono installate sul lato sinistro del sistema di alimentazione del gas, che può controllare manualmente quattro tipi di gas ● Presa d'aria: 4 1/4NPS ● Uscita dell'aria: 4 1/4NPS ● Utilizzo di PLC per controllare il flussometro, controllato tramite un touch screen Acquisto opzionale di miscelatore gas-liquido per sistema CVD |
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| Flangia di tenuta del tubo del forno |
Tubo di quarzo ad alta purezza, dimensioni 50mm O.D x 44mm I.D x 1800 mm L Dotato di un set di flange di tenuta in acciaio inossidabile e manometri a vuoto installati su di essi |
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| Manometro anticorrosivo |
Alimentazione in ingresso 24V, 1A DC (dotata di convertitore di tensione) Campo di misura: 3.8x10-5-1125 Torr ● Display digitale di visualizzazione dei dati (dimensione dello schermo è 20x14mm), con unità di visualizzazione dei dati in torr ● Connettore KF16 Dimensioni del prodotto 46mm × 28mm × 126mm (L x L x H) |
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| Portaoggetti circolari |
Dimensioni della scatola del guanto: 780mm (L) x 700mm (W) x 650mm (H) Dotato di un sistema di rimozione dell'acqua: mantenendo un contenuto idrico < 2 ppm Una flangia sottovuoto è situata sul lato sinistro del portaoggetti e collegata al tubo di quarzo del sistema PECVD |
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| Periodo di garanzia | Periodo di garanzia di un anno, manutenzione a vita (esclusi tubi del forno, elementi riscaldanti e anelli di tenuta) | |
| Certificato | ● Certificazione CE ●Tutti i componenti elettrici (>24V) sono certificati UL/MET/CSA |
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